TS系列光学真空镀膜系统

本系统采用石英晶体膜厚监控技术（MDC－360C或Inficon XTC），配备两把大功率电子枪（带数控编程扫描系统）、终端霍尔离子源、可摆式均匀度修正挡板及PLC自动控制系统等。可以实现多层膜厚的连续自动镀膜。具有性价比高、镀膜质量稳定和重复性好等特点。